岡本工作が一時S高、「研究成果最適展開支援プログラム」採択を材料視

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岡本工作機械製作所(6125)が4連騰、一時前日比50円高の183円とストップ高まで買われた。8月31日の大引け後に半導体関連装置開発部門が国立研究開発法人科学技術振興機構が行っている「研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)」における「ステージⅢ(NexTEP-A タイプ)」の新規課題に応募し、採択されたことを発表した。採択された事業テーマ名は「Si貫通電極ウェーハ全自動薄化加工装置」でSi貫通電極(TSV)ウェーハを高平坦かつ高均一に10μm厚さレベルまで薄層化する加工技術。新たに開発した自動Si厚さ補正機構付き研削盤、Si/Cu同時研削技術、および金属汚染低減化技術を融合したTSVウェーハ全自動薄化加工装置を世界で初めて実用化する。

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