オキサイド<6521>が大幅続伸。25日、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の公募事業「グリーンイノベーション基金事業/次世代デジタルインフラの構築」の「次世代パワー半導体に用いるウェハ技術開発」テーマに採択されたと発表したことが買い手掛かりになった。次世代パワー半導体向けの超高品質8インチSiCウェハの社会実装を目的に、溶液法とプロセス・インフォマティクス技術を活用したSiC結晶成長技術開発と大口径SiCウェハ向け加工・評価技術の開発を進める。
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