岡本硝子<7746>が急反発。この日、オーク製作所(東京都町田市)がNEDOの委託事業「省エネエレクトロニクスの製造基盤強化に向けた技術開発事業」で開発した高解像・高精度のダイレクト露光装置に、同社製フライアイレンズが採用されたと発表した。微小レンズを格子状に並べた光学素子で、露光光の照度分布を均質化、安定した露光を実現できるという。
提供:株式市場新聞社 marketpress.jp

岡本硝子<7746>が急反発。この日、オーク製作所(東京都町田市)がNEDOの委託事業「省エネエレクトロニクスの製造基盤強化に向けた技術開発事業」で開発した高解像・高精度のダイレクト露光装置に、同社製フライアイレンズが採用されたと発表した。微小レンズを格子状に並べた光学素子で、露光光の照度分布を均質化、安定した露光を実現できるという。
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